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產(chǎn)品詳情產(chǎn)品分類
半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)
產(chǎn)品名稱：半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)
產(chǎn)品介紹：
歐力克斯自主設(shè)計研發(fā)的半導(dǎo)體晶圓噴光刻膠一體機(jī)，具有性價比高、靈活性強(qiáng)、產(chǎn)能效率高等優(yōu)勢；采用壓電噴射閥噴射速度快，點膠精度高，最小點徑0.2mm，最小線徑0.3mm，一致性高，非接觸，避免針頭碰撞工件；極小點膠量，適用于更緊湊的空間。歐力克斯半導(dǎo)體精密點膠設(shè)備可以更好的滿足半導(dǎo)體行業(yè)點膠工藝需求。
點膠工藝：
芯片的固定-紅膠、電氣的連接固定-銀漿、固定MEMS器件-硅膠、COB封裝防護(hù)-環(huán)氧膠，芯片錫球保護(hù)（Underfill）-環(huán)氧膠等
技術(shù)特點 晶圓點膠機(jī)，伺服絲桿，龍門結(jié)構(gòu)，雙Y、雙X軸，運行穩(wěn)定；搭載自研壓電式噴射閥，大視野視覺相機(jī)，點膠精度高 機(jī)械手搬運機(jī)構(gòu)，采用上銀4軸微小型機(jī)器人進(jìn)行搬運 機(jī)械手自動把點好膠的晶圓搬運到真空烘烤機(jī)中，自動關(guān)閉艙門在真空環(huán)境中利用光照烘烤固化
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